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申请/专利权人:鸿利智汇集团股份有限公司

申请日:2023-12-11

公开(公告)日:2024-03-08

公开(公告)号:cn117672919a

主分类号:h01l21/67

分类号:h01l21/67;h01l33/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.03.08#公开

摘要:一种切割式支架解uv方法,包括以下步骤:(1)在支架碗杯内部固晶并烘烤固定;(2)对支架碗杯内部固定的芯片进行焊线;(3)对支架碗杯内部点荧光胶并固化;(4)在支架的背面贴第一固定膜,(5)在第一固定膜上贴第二固定膜;(6)沿支架工艺边进行第一次切割,并切断第一固定膜;(7)对支架中间区域材料横向和纵向进行第二次切割,将金属连筋切断,切割深度至第一固定膜的一部分;(8)撕掉支架工艺边;(9)将之间中间区域材料剥离成单颗芯片。使用两层固定膜,使用切割机切割两种不同深度,使得支架工艺边可以整块撕掉,可以高效剥离中间区域材料。

主权项:1.一种切割式支架解uv方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)在支架碗杯内部固晶并烘烤固定;(2)对支架碗杯内部固定的芯片进行焊线;(3)对支架碗杯内部点荧光胶并固化;(4)在支架的背面贴第一固定膜,(5)在第一固定膜上贴第二固定膜;(6)沿支架工艺边进行第一次切割,并切断第一固定膜;(7)对支架中间区域材料横向和纵向进行第二次切割,将金属连筋切断,切割深度至第一固定膜的一部分;(8)撕掉支架工艺边;(9)将中间区域材料剥离成单颗芯片。

全文数据:

权利要求:

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