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申请/专利权人:杭州士兰微电子股份有限公司

申请日:2021-06-18

公开(公告)日:2024-03-08

公开(公告)号:cn113423050b

主分类号:h04r19/04

分类号:h04r19/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.03.08#授权;2021.10.12#实质审查的生效;2021.09.21#公开

摘要:本发明提供了一种mems系统,差分电容式mems传感模块接入偏置电压及预定电压,差分电容式mems传感模块的差分电容在外部的声音信号的激励下产生电容变化量,差分电容中的一个mems电容上的信号可以耦合到另一个mems电容上的信号一起输出,在mems部分完成了差分转单端的功能,体现为差分电容式mems传感模块输出的第一电压信号通过一个输出端输出,实现了差分电容式mems传感模块的单端输出,信号处理模块只对第一电压信号进行信号处理,可兼容普通的单输入的信号处理模块,无需重新设计信号处理模块。

主权项:1.一种mems系统,其特征在于,包括:偏置信号生成模块,用于生成偏置电压,且所述偏置信号生成模块的输出端与差分电容式mems传感模块之间不连接滤波电容;差分电容式mems传感模块,包括差分电容,所述差分电容在外部的声音信号的激励下能够产生电容变化量,所述差分电容式mems传感模块连接所述偏置信号生成模块,接入所述偏置电压,所述差分电容式mems传感模块还接入预定电压,并根据所述电容变化量、偏置电压以及预定电压输出表征所述声音信号的第一电压信号,所述第一电压信号通过一个输出端输出,使差分电容式mems传感模块单端输出;以及,信号处理模块,连接所述差分电容式mems传感模块的输出端,接入所述第一电压信号并进行信号处理,以输出第二电压信号,所述信号处理模块包括:单个缓冲单元,连接所述差分电容式mems传感模块的输出端,接入所述第一电压信号并对所述第一电压信号进行阻抗转换,得到缓冲信号;单个第三高阻单元,一端连接在所述差分电容式mems传感模块的输出端与所述缓冲单元之间的节点上,另一端接入共模电压。

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